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书目详细信息： 硅材料检测技术

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《硅材料检测技术》

ISBN/价格：	978-7-122-05568-2:CNY27.00
作品语种：	chi
出版国别：	CN 110000
题名责任者项：	硅材料检测技术/.康伟超, 王丽主编
出版发行项：	北京:,化学工业出版社:,2009.08
载体形态项：	143页:;+图:;+26cm
丛编项：	太阳能光伏产业.硅材料系列教材
提要文摘：	本书主要介绍了半导体硅材料常规电学参数的物理测试方法、检测晶体缺陷的化学腐蚀法、半导体晶体定向法、硅单晶中氧和碳含量的测定方法。
题名主题：	硅半导体材料检测教材
中图分类：	TN304.1
个人名称等同：	康伟超主编
个人名称等同：	王丽主编
记录来源：	CN 华瑞学院

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